Барыбин А.А. Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы

М.: Физматлит, 2006. — 424 c.В книге изложены основные физические явления и закономерности, лежащие в основе технологических методов и процессов, используемых в производстве современных электронных приборов и интегральных микросхем. Изложение материала построено так, чтобы дать читателю возможность самостоятельно сформировать общие физико-технологические представления путем изучения основных физических, химических и электрохимических закономерностей, как правило, без обращения к другой литературе. Для углубленного изучения отдельных вопросов в конце книги приведен список рекомендуемой литературы.
Книга предназначена главным образом для студентов как учебное пособие по физико-технологическим основам электроники и микроэлектроники, но может оказаться полезной и специалистам в этой области.
Рекомендовано учебно-методическим объединением вузов Российской Федерации по образованию в области радиотехники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации в качестве учебного пособия
для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 550700 и 654100 «Электроника и микроэлектроника» подготовки бакалавров, магистров и дипломированных специалистов.Предисловие.
Введение.
Термодинамические основы технологических процессов.
Управление фазовыми превращениями веществ.
Управление химическими превращениями веществ.
Управление точечными дефектами в кристаллах.
Управление диффузионными и кинетическими процессами.
Управление поверхностными явлениями и межфазными взаимодействиями.
Приложения:
Термодинамические расчеты в задачах технологии.
Справочный материал.
Литература, рекомендуемая для углубленного изучения.
Предметный указатель.