Калинин С.В., Черкаев А.С. и др. Моделирование нанотранзисторов в TCAD Sentaurus

Методическое руководство к лабораторному практикуму. - Новосибирск, НГТУ, 2010. - 104 с.Курс «Математическое моделирование и проектирование наносистем» читается в соответствии с учебным планом по направлению 210600 – «Нанотехнология» в 8 семестре. Методическое руководство содержит описания четырех лабораторных работ по курсу. Изложенные в руководстве материалы будут полезны студентам и аспирантам всех форм обучения.Моделирование технологических параметров нанопереходов на базе основных оболочек и подсистем TCAD Sentaurus
Технологическое моделирование двумерной структуры моп-нанотранзисторов на напряженном кремнии
Сквозное моделирование электрофизических характеристик кремниевых полупроводниковых структур в TCAD Sentaurus
Моделирование электрофизических параметров и характеристик НENT-структур в TCAD Sentaurus