Пер. с англ. — М.: Мир, 1985. — 496 с.
В книге американских специалистов изложены физические принципы основных технологических процессов современной (на 1985 год) микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг. Рассмотрены перспективы совершенствования технологии и фундаментальные ограничения на дальнейшее развитие микроэлектроники.
Для специалистов в области электронной техники, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей вузов.