Могэб К., Фрейзер д., Фичтнер У., Паррильо Л., Маркус Р., Стейдел К., Бертрем У. Технология СБИС. Книга 2

Пер. с англ. под ред. С. Зи. — М.: Мир, 1986. — 453 с.: ил.В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС. В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС (биполярная технология, n-МОП и КМОП технологии), методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС.
Для студентов старших курсов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.Сухое травление.
Металлизация.
Моделирование технологических процессов.
Интеграция технологических процессов изготовления СБИС.
Методы контроля и диагностики.
Методы сборки и герметизация.
Выход годных ИС и их надежность.
Задачи (к каждой главе).
Литература (к каждой главе).
Приложения А-Г.
Предметный указатель.