Коледов Л.А. Технология и конструкции микросхем, микропроцессоров и микросборок

Учебник для вузов. — М.: Радио и связь, 1989. — 400 с. — ISBN 5-256-00142-6.Изложены сведения о конструкторско-технологических вариантах исполнения элементов и компонентов микросхем, микропроцессоров и микросборок. Дано детальное описание технологических маршрутов их производства. Уделено особое внимание вопросам анализа и синтеза технологических маршрутов, обеспечению качества изделий микроэлектроники и эффективности их производства. Представлены и проанализированы с точки зрения их использования в микроэлектронной аппаратуре современные конструкции изделий микроэлектроники.
Для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Конструирование и производство радиоаппаратуры».Изделия микроэлектроники как объект производства.
Технология производства изделий микроэлектроники: история развития, общие положения и основные определения.
Конструкции элементов полупроводниковых микросхем и микропроцессоров на биполярных транзисторах.
Конструкции элементов полупроводниковых микросхем и микропроцессоров на МДП-транзисторах.
Конструкции элементов биполярно-полевых полупроводниковых микросхем.
Конструкции элементов и компонентов пленочных гибридных микросхем и микросборок.
Технология производства и конструкции микросхем, микропроцессоров и микросборок.
Исходные материалы и полуфабрикаты для производства полупроводниковых интегральных микросхем.
Технология производства полупроводниковых микросхем на биполярных транзисторах.
Технологические маршруты производства интегральных полупроводниковых микросхем и микропроцессоров на МДП-транзисторах.
Технологические маршруты производства гибридных микросхем и микросборок.
Анализ и синтез технологических процессов производства интегральных микросхем.
Методы выполнения технологических операций и используемое оборудование.
Конструкции микросхем и микропроцессоров.