Сазонов A.A., Корнилов Р.В. Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроники

М.: Радио и связь, 1988. — 264 с.Рассмотрены структура технологических процессов получения интегральных микросхем, задачи и функции микропроцессорных систем управления оборудованием. Проведен анализ технических средств и основных подсистем оборудования- Приведены алгоритмы управления параметрами процессов и состоянием оборудования, дана их программная реализация с использованием проблемно-ориентированных языков и языков пользователя.
Для студентов вузов приборостроительных специальностей.Предисловие.
Введение.
Управление в производстве изделий микроэлектроники.
Средства автоматизации технологического оборудования.
Структура и состав микропроцессорных систем управления.
Алгоритмы управления качеством технологических процессов.
Программное обеспечение микропроцессорных систем.
Программирование задач управления оборудованием.
Примеры использования микропроцессоров в технологическом оборудовании.
Список литературы.
Предметный указатель.