Баранов В.В. Системное проектирование производства БИС и СИС

Минск: БГУИР, 2007.Классификация интегральных микросхем, Подготовительные операции, Базовые элементы БИС и СИС, Особенности производства и применяемых расходных материалов.
Основы проектирования маршрутной технологии кристаллов БИС и СИС. Анализ и синтез технологических маршрутов.
Моделирование производства кристаллов БИС и СИС. Методы и алгоритмы моделирования базовых технологических операций.
Методы и алгоритмы численного физико-Топологического моделирования полупроводниковых структур.
Управление качеством в проектировании и производстве бис и сис. Обеспечение параметров и стандартов качества на этапе проектирования.
Механизмы деградации элементов структуры бис и сис. Факторы, Влияющие на выход годных кристаллов.
Системное проектирование блока микромонтажных операций.
Методы автоматизированного проектирования электрической схемы и топологических чертежей БИС.
Основы бездефектного проектирования топологического чертежа БИС.
Модели и библиотеки для синтеза топологического чертежа БИС.