Лысенко И.Е. Лекции и практические задания по курсу Микроэлектромеханика
Файл формата
rar
размером 4,83 МБ
содержит документы форматов
docpdfppt
Добавлен пользователем Миша Чех, дата добавления неизвестна
Описание отредактировано
Рассматриваются базовых принципов функционирования и конструирования механических и электромеханических элементов и устройств, реализуемых на микроуровне, а также основные технологии изготовления микроустройств. (Показаны основные маршруты изготовления, используемые в современных производствах)
Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
Учебное пособие. — Таганрог: ТТИ ЮФУ, 2009. — 117 с. В учебном пособии рассмотрены основные вопросы, затрагиваемые в первых 12 лекциях, читаемых в рамках дисциплины «Компоненты микросистемной техники». Целью преподавания дисциплины «Компоненты микросистемной техники» является формирование знаний об элементах и компонентах микросистем, базовых физических принципах их...
Учебное пособие. — Таганрог: ТРТУ, 2005. — 103 с. — ISBN 5-8327-0231-X. В учебном пособии рассмотрены сенсорные и актюаторные элементы микросистемной техники (МСТ) и средства их проектирования. В первом разделе пособия кратко рассмотрены основные технологии изготовления элементов МСТ. Во втором и третьем разделах описаны конструкции и принципы функционирования сенсорных и...
Лекции: Введение. Основные понятия и термины. Параметры и характеристики микросистем. Чувствительные элементы для микросистем. Сенсорные компоненты МСТ. Пьезоэлектрические датчики. Сенсорные компоненты МСТ. Сенсорные компоненты МСТ. Сенсорные компоненты МСТ. Актюаторные элементы МСТ. Микромеханические ключи. Интегральные микрозеркала. Интегральные микродвигатели. Катушки...
Таганрог, ТГТУ (Технический Институт ЮФУ), 2007 г. - 27 с. В данной работе приведены примеры расчётов сенсоров и актюаторов по курсу «Микроэлектромеханика». Целью их выполнения является приобретение студентами практических навыков по расчету микромеханических элементов микросистемной техники с электростатической и тепловой активацией. Для студентов специальностей 210108...
Учебное пособие. - М.: Машиностроение, 2007. - 400 с.: ил.
Изложены терминология, классификация, конструкции и принципы работы микромеханических осевых и маятниковых акселерометров, датчиков давления и гироскопов LL-, LR- и RR-типов. Даны описание и расчет прямых (датчиков перемещений и деформаций) и обратных (датчиков сил и моментов) преобразователей в микромеханическом...
