Гареев К.Г. Основы материаловедения микро- и наносистем

Учебное пособие. — СПб.: Издательство СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2019. — 173 с. — ISBN: 978-5-7629-2598-3.Представлены основы технологии получения микро- и наносистем, включая высокоэнергетическое разрушение, контролируемую кристаллизацию из аморфного состояния, вакуумные методы нанесения и методы растворной химии. Рассмотрены физические явления, наблюдаемые в микро- и наносистемах на основе проводников, полупроводников, диэлектриков и магнитных материалов, а также примеры их практического использования. Приведены примеры расчетных задач и вопросы для самоконтроля.
Предназначено для студентов, обучающихся по укрупненной группе специальностей и направлений подготовки 28.00.00 «Нанотехнологии и наноматериалы», а также может быть полезно студентам, обучающимся по направлениям подготовки и специальностям, в рамках которых изучаются технология, свойства и применения устройств на основе металлических, полупроводниковых, диэлектрических и магнитных микро- и наноструктур.