М.: Высшая школа, 1989. — 320 с. — ISBN: 5-06-000123-7.
Учебное пособие для студентов вузов, обучающихся по специальности "Физика и технология материалов и компонентов электронной техники".
В книге рассмотрены математические модели интегральных микротехнологий, приборов и схем; описаны основные принципы построения моделей; технологических, физико-топологических, схемных, элементно-фрагментных и методы идентификации их параметров; рассмотрены основы математического обеспечения численного расчета БИС.
В основу изложения материала положен комплексный системный подход многоуровневого моделирования БИС от технологии их изготовления до функционирования приборов и схем, с необходимым описанием соответствующих моделей, алгоритмов, программного обеспечения, методов идентификации, а также оптимизации элементов и фрагментов БИС.
Ознакомление широкого круга студентов и аспирантов радиоэлектронных и инженерно-физических специальностей с методами сквозного моделирования БИС позволит сократить расстояние от изобретания и модификаций перспективных интегральных микротехнологий, приборов, микросхемотехники до внедрения и промышленного освоения элементной базы ЭВМ.
OCR 300 dpi.