Учебник. - М.: 2008. - 340 с.
Новый учебник по физике микро- и наносистем. Содержит подробную практическую информацию по различным методам формирования наноструктур (зондовые методы, эпитаксиальные, химические и т. д. ). Понятным языком описаны физические явления, лежащие в основе создания микро- и наносистем, а также приборов на их основе.